平台类别 | 核心设备/设施 | 主要功能 |
集成电路智能虚拟制造平台 | 跨工艺—器件—电路多层面DTCO全流程设计方法 | 先进工艺及成套集成TCAD仿真、先进器件TCAD仿真及综合优化设计、可靠性评估表征与建模、先进器件精准物理模型及PDK开发、单元库/IP及电路设计 |
集成电路智能EDA/IP创新中心 | 国产EDA点工具校准及验证 | 实现集成电路产线中EDA工具链串线，涵盖工艺制造、器件仿真、建模、PDK、设计、验证、签核等全流程 |
航天电子实验室 （建设中） | 航天集成电路芯片可靠性测试平台、电磁兼容测试设备 | 航天集成电路芯片可靠性评估、航天/低空传感器设计、航天电子系统设计与应用、航天在轨验证 |
先进工艺材料实验室 （建设中） | 新型存储器件制备与表征设备、二维材料器件研究平台 | 探索新型存储器件、量子器件、二维材料器件等新材料、新器件机理及应用演示 |
集成电路装备技术平台 （建设中） | EUV光源和检测技术设备、数字孪生研究平台 | 聚焦关键先进装备技术研究，开展新装备的数字孪生技术研究 |
